VI / VIM 명령어 정리




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1장 - 반도체 디바이스의 제조공정

<기본 프로세스 기술>

1. 세정기술(Cleaning)
▷ 세정은 리소그래피를 처음으로 하는 각 공정 사이에서 반드시 행해야 하는 것으로, 표면 정화를 위한 공정이다.
 또한, 열처리, 산화 등의 공정 전에 행하여지는 것으로, "후처리","전처리"라 불리기도 한다.
 세정에 의한 제거 대상물은 유기물 잔사, 산화물 잔사, 금속오염, 파티클 등이다. 초음파, 브러시 등의 물리적 수법도 필요에 따라 추가된다.

2. 열처리 (Thermal Treatment)
▷ 실리콘 기판을 800도 이상의 고온 산화분위기 속에서 처리하면 표면에 실리콘 자체 산화막(SiO2)이 형성된다. 이 막은 절연막으로서, 실리콘을 사용하는 반도체 디바이스 제조의 출발점이다. 실리콘 플레이너 방식의 기본이며, MOS 구조에 있어서는 게이트 절연막이 된다.
 이들 산화막의 형성에는 청정한 분위기의 확산로가 쓰여지며, 철저하게 세정을 실시한 웨이퍼가 사용된다.

3. 불순물 도입 (Impurity Doping)
▷ Si 기판 중에 B, As, P 등의 3가 및 5가 족 원소를 불순물로서 도입, pn 접합 형성과 불순물 농도제어를 행해는 기술이다. 열적인 확산법과 이온주입법이 있는데 현재로서는 이온주입법이 주류를 이루고 있다.
 이온 주입법에서는 진공 상태에서 분리되어진 B, As, P 등의 이온에 고전압을 가해 가속시킴으로써 기판 안에 주입한다. 불순물의 양은 이온전류에 의해 모니터 되고, 열처리에 의해 활성화된다.

4. 박막 형성(Thin Film Deposition)
▷ 기판상에 절연막, 실리콘막, 금속막을 형성(퇴적)시키는 막으로 CVD(Chemicl Vapor Deposition), PVD(Physical Vapor Deposition) 이 있다.

5. 리소그래피 기술(Lithography)
▷ 리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해, 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트제거에 이르는 일련의 프로세스이다. 현재, 패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전사시킴으로써 행해지고 있다. 이 공정은 모든 프로세스 기술의 중심이며, 반도체 공장에서도, 가장 많은 금액의 투자를 필요로 하는 장치이다. 패턴 형성 후에는 반드시 에칭 공정이 수반되며, 형성된 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 처리할 수 있다.

6. 평탄화 기술(Planarization)
▷ 디바이스의 미세화와 고밀도화가 진행되면서 표면의 구조가 복잡, 심화되어지고, 특히 다층 배선공정에 있어서 단선이나 쇼트의 원인이 되기가 쉽다. 평탄화 기술은 그러한 이유때문에 필요로 하게 된다.

- 출처 : 반도체 제조장치 입문, 성안당

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0장. 반도체 제조장치의 세계

◇ 반도체 디바이스의 지금까지의 진보는 반도체 제품을 생산하기 위한 제조기술 및 가공기술의 진보로서, 그것을 양산기술로 가능하게 하는 "제조장치의 진보"에 의해 달성되어 왔다고 해도 과언이 아니다.

◇ 반도체 디바이스 제조공정은 단결정 제조공정, 마스크 제조공정, 전공정, 후공정으로 분리되어진다. 단결정과 마스크 제조공정은 각각 전문 메이커의 영역이므로, 일반적으로 반도체 제조장치라 하면 전공정, 후공정, 공통 장치 등으로 분류한다. 전공정은, 실리콘 기판을 가공처리하는, 즉 웨이퍼 프로세스(Wafer Process)라고 불리는 공정이며, 후공정은 웨이퍼 프로세스 종료 후에 칩을 패키지화 하여 검사하는 공정이다. 최근에는 이 공정을 또 다시 전반과 후반으로 구분하여, 기판가공 프로세스와 배선공정으로 구분하기도 한다.

◇ LSI라고 불리어지는 집적회로 디바이스가 등장한 것은 1970년으로서, 그 최초의 제품이 미국 인텔사의 i-1103이라 불리어지는 1K비트의 MOS 메모리였다. 이것은 현재의 고밀도DRAM의 출발점이 된 디바이스인데, 반도체 제조장치 분야가 산업으로서 성립된 것도 이 시점이라 할 수 있다.

◇ 1970년, LSI(대규모 집적회로)의 등장과 함께 반도체 제조장치 산업이 탄생되었다. 그때까지는 장치산업이라 해도, 메이커의 수는 적고, 산업 단체로서의 조직적인 활동도 없었던 상태였다.
 각 디바이스 메이커는 장치 메이커와 개별로 특별 사양의 장치를 조달하거나 또는 어쩔 수 없이 장치의 자체 제작을 진행하고 있었다. 반도체 제조장치 산업의 탄생은 기술의 다양화와 제조기술 고도화의 교구가 초래한 필연이었다고 말할 수 있다. 즉, 전문 장치 메이커가 완성도 높은 장치를 사용자에게 제공하지 않으면 안되었기 때문이다. 또한 디바이스 메이커는 장치를 내제화하기보다는 그 자원을 본래의 반도체 생산과 기술 발전 쪽으로 돌리는 것이 가능하게 되었다.

◇ 리소그래피, 박막형성, 세정 등은 기본 프로세스 또는 요소 기술이라고도 불리어져, 장치 또한 이것에 따라서 분류되는 것이 보통이다. 전공정에서는 리소그래피, 에칭, 박막형성이 차지하는 비율이 80%에 이르고 있다.

◇ 전공정 관련의 반도체 제조장치가 설비투자 전 금액의 50% 이상을 차지하고 있기 때문에 반도체 제조 장치라고 하면 전처리 장치를 가리킨다 해도 좋을 정도이다.

◇ 웨이퍼 프로세스에서는 산화, 세정, 리소그래피 등의 공정이 몇 십 회씩 반복되어 집적회로로 만들어져 나간다. 공정수도 세는 방식에 따라서는 수백 회에 이르고, 한 공정에 하루가 걸린다고 할 경우 몇 개월에 걸쳐 간신히 완료되는 긴 공정이다. 그것만으로 디바이스 제조원가에서 차지하는 이 공정의 비중이 높고, 제조장치의 감가상각비가 그 30%를 넘는다고도 한다. 따라서 공정을 줄이고, 도입하는 설비의 대수를 줄이는 일은 원가 절감에 현저한 효과를 초래한다. 예를 들면, 가장 효과적인 마스크 매수를 줄이는 것이다. 마스크의 사용매수가 줄어들면 공정은 단번에 단축되어 스태퍼(Stepper)의 도입 대수를 줄일 수 있기 때문이다. 현재와 같은 디바이스를 생산하는 경우, 칩의 제조원가를 비교하려면 마스크의 매수를 비교하면 알 수 있다고 할 정도이다.

◇ 현재로는 웨이퍼 프로세스를 대표하는 장치는 스테퍼이고 그 도입대수에 따라서 그 라인의 능력, 제조원가 등을 알 수 있다고 한다.

◇ 반도체 산업의 주변 산업으로는 재료관련 메이커, 설비관련 메이커, 포토마스크 메이커, 결정 메이커가 있다.

- 반도체 제조장치 입문 (임종성 저), 성안당 -

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Semiconductor Technology at TSMC, 2011

 

 

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출처 - 네이버 카페 '글쓰기훈력소'
http://cafe.naver.com/pointwriting/8517

<베토벤>

그는 키가 작고 뚱뚱하며 뒷덜미가 굵다란 역사(力士)같은 골격을 가졌다. 얼굴은 커다랗고 불그데데하였다.
(중략) 눈은 열정적으로 불타고 있어, 그를 만나 본 사람은 누구나 그 정기에 감명을 받았다.

그 눈은 조그맣고 깊숙이 잠겨 있는 듯 보였으나, 열정이나 분노가 끓어오를 때에는 갑자기 커다랗게 열렸다. 그럴 때는 눈동자가 바쁘게 구르면서 모든 생각을 놀라우리만큼 진실되게 비쳐내는 것이었다.

코는 짧고 네모져서 너부죽한 것이 흡사 사자의 콧마루 같았다. 입술은 얄팍했고, 아랫입술이 윗입술보다 약간 앞으로 나온 편이었다. 턱은 억세어서 호도라도 깨물어 부스러뜨릴 만하였다. 아래턱 오른 편으로 약간 치우쳐 깊숙이 우물진 보조개는 얼굴 전체의 균형을 야릇하게 깨트리고 있었다.

그의 웃는 얼굴은 인자하였다. 반면에 소리를 내어 웃는 웃음은 듣기 싫고 괄괄했다. 얼굴까지 찡그리며 웃었다. 그것은 기쁨을 자주 가져 보지 못한 사람의 웃음이었다. 가끔 그는 하늘을 향하여 우울한 시선을 돌렸다. 그가 습관적으로 띠던 표정은 멜랑콜리였다. 이는 '사라질 수 없는 슬픔'이었다.

한 음악 평론가는 "그의 부드러운 눈과 그 눈이 지닌 깊은 슬픔을 보면서 울고 싶어지는 마음을 간신히 참았다."고 밝혔다.

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출처 : 네이버카페 글쓰기훈련소
http://cafe.naver.com/pointwriting/9227

<끼이익!>

길을 건너는데 등 뒤에서 엄청난 굉음이 들렸다. 온갖 소리가 뒤섞여 있었지만 분명 구분되어 들렸다. 끼익 하고 미끄러지는 소리, 철판 긁히는 소리, 차 앞 유리창이 산산조각 나는 소리, 자동차가 담벼락을 들이받을 때 나는 둔중한 소리, 표지판이 휘는 소리, 자동차 내부에서 조그만 것들, 아마도 뼈로 짐작되는 것들이 으스러지는 소리, 차는 바로 십 초 전 내가 서 있던 곳, 그녀의 아파트 정문을 들이 박았다.

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출근을 해서 네이버의 뉴스 목록을 한번 쭉 훑어 보았다. 그런데 전남 나주에서 집에서 자고 있던 7살 소녀를 이불에 감싼채 납치하여 성폭행한 후, 강가에 옷이 벗겨진 채 아이가 발견되었다는 것이다. 정말 다행인게 살아있다. 라는 것이다.

얼마 전에는 피자가게 사장에게 성폭행 당한 후 자살한 아르바이트생, 수원에서 술집에서 여사장을 성폭행하려다 실패한 후, 일반 주택에 들어가 일가족에 칼을 휘두른 사건, 국내 일류 대학생들의 집단 성폭행 사건등 정말 하루가 멀다 하고 그놈의 정말 좆같은 일들이 벌어지고 있다. 정말 좆이 문제다. 왜 남자들은 이 섹스를 못해서 안달이 나고 사람을 죽이고 그냥 보기에 귀여운 어린 아이들에게 그런 있을 수 없는 일을 벌이는가? 도무지 이해할 수 없다.

오늘 그 네이버 기사를 보고 혼자 씨발~ 이라는 말을 했다. 우선 첫번째는 이제 두아이의 아빠가 되는 입장에서 그 어린 아이와 그 부모를 생각하면 정말 심장이 뛰지 않을 수 없고, 분노를 금할 수 없다는 것이다. 그리고 두번째, 사건이 일반 가정집에서 일어난 사실이다. 우리나라가 이제 정말 가장 보호받아야 하고 사적인 장소인 자기 집에서 조차 자유로울 수 없다는 그 사실 때문이다. 정말 끔찍하다. 정말 이해할 수 없다.

정말 그 성욕을 참지 못한다면, 없어져야 하지만 어쩔 수 없는 필요악인 성매매를 하던지 그럴 여유가 없으면 혼자 해결하면 될 거 아니냐. 이 병신같은 정말 이 세상에 없어져야할 쓰레기같은 새끼들아.

과연 이런 일들이 왜 최근들어 급증하는 걸까? 과거와 지금은 뭐가 다른걸까? 포르노와 성인물에 대한 접근할 수 있는 경로가 많이 생겨서일까? 아니면 노출이 심해져서? 게임등을 통해 개인 세계에 매몰되고 사회와 분리되는 현상때문에?
혼자 이런 저런 생각을 해보지만 그래도 왜 저런 일을 할까? 에 대한 답은 내 머리 속으로는 절대 답을 찾을 수 없을 것 같다.

최근 들어, 성범죄자 처벌 관련된 일들이 많이 이슈화되고 있다. 과연 답이 있을까? 모르겠다. 지금의 법 체계들이 수십년의 역사를 거쳐서 만들어지고 진보되어 왔음은 분명하지만 정말 그 개인과 가족이 당한 상처와 아픔을 생각하면 정말 모르겠다. 몇 년 징역, 전자팔찌가 과연 얼마나 소용이 있는지는?

어떤 사람들은 성도착증과 같은 병이라 이런 사람들은 다시 똑같은 일을 저지른다 한다. 그런데 나는 그 표현이 마음에 들지 않는다. '병' 이라는 그 표현이 그러면 다른 병으로 지금 고통 받는 사람들에게 너무 미안할 것 같다는 이상한 생각도 든다. 그건 병이 아니라 그들의 범죄요. 없어져야할 것들이다.

과연 이런 일들을 없애고 최대한 줄이려면 어떻게 해야 할까? 화학적 거세가 최근에 논의가 많이 되고 있는 듯하다. 그 효과적인 측면은 나는 잘 모르겠으나 어떤 방법을 쓰든 사람들이 그런 범죄를 저지르려고 마음 먹더라도 그 형벌이 겁나서 하지 못할 정도의 무언가가 필요할 것이라 생각한다.

에이 정말 씨발~ 욕이 나오는 세상을 살아가고 있다. 내가 과연 무엇을 할 수 있을까? 내 조카들과 소중한 가족과 이웃들을 위해서.. 생각해 볼 필요가 있다.

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