MES 용어집

BOM (Bill Of Materials)

- 제조공정에는 상취품목, 부품, 자재명세서, 사용량, 최종 품목, 중간 조립품, 구매부품, 제품생산 공정 등으로 구성되어 있다. 자재명세서(BOM)는 모든 품목에 대해 상위 품목과 부품의 관계와 사용량, 단위 등을 표시한 리스트이다.

 

Cp(공정능력지수)

- 공정변동에 대한 규격변동의 양적인 표현을 나타낸 지표이다.

 

Cpk(치우침이 보정된 공정능력지수)

- 공정평균의 위치를 반영해 공정능력이 산포의 중심에서 벗어난 정도를 나타낸 지표이다.

 

GEM(Generic Equipment Model)

- 모든 반도체장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만, 그 동작 방식이나 사용하는 메시지가 모두 다르다면 정말로 복잡한 일이 아닐 수 없다. 이런 이유로 SEMI에서는 장비의 동작에 대한 시나리오와 용어로 이때 사용되는 메시지를 묶어서 장비 구동에 관한 표준을 마련했는데, 이 표준이 E30 생산설비 통신과 제어를 위한 핵심 모델(Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)이고, 이를 간단히 줄여서  GEM이라고 부른다.

 

SEM(Specific Equipment Model)

- GEM을 통해 일반적인 장비의 동작 규약을 정하고는 있지만  GEM만으로 반도체생산에 투입되는 모든 장비의 사양을 규정하는 것은 실제로 불가능하다. 특히 다른 공정 장비와 비교할 때 작업 자체가 색다른 반송장비나 스토커 등의 경우는 더욱 그렇다. 이런 이유로 특별한 장비에 적용되는 사양은 따로 SEM(Speciific Equipment Model) 사양을 정해서 관리하고 있다.

 

SECS-1(SEMI Equipment Communications Standard 1)

- 반도체 처리 장비와 호스트 간의 메시지 교환에 적합한 통신 인터페이스를 정의한 것이다.

 

ST(Standard Time)

- 문제 발생 ㅇ벗이 정상적인 작업속도로 설비나 작업자에 의해 부품, 완제품을 생산하는 데 직접적으로 소요되는 시간을 말하며, 사이클타임(Cycle Time)은 어떤 제품을 한 번 생산하고 동일제품을 두 번 생산할 때 주기이다.

 

T/T(Tact Time)

- 제품 한 개를 생산하는 데 필요한 기준 시간. 만약 설비가 1시간에 3,600개의 생산을 하면  Tack Time 은 1초이다.