한가람역사문화연구소 소장인 이덕일 선생님의 책이다. 이 분의 책은 출간된 것은 모두 읽어보려고 하고 있다.
아직도 읽어야 할 책이 쌓여있다. 이덕일의 책을 찾아서 읽는 이유는 우선 정말 재미있다. 책을 손에 잡다보면 어떤 책은 이 책을 빨리 읽어야 겠다. 하면서 계속 잡고 있어도 잘 안 읽혀지는 책이 있다. 지금 읽고 있는 다른 책이 그렇다. 이런 책들은 책을 읽는데 여간 노력이 들어가지 않을 수 없다.
하지만 어떤 책은 잡으면 나도 모르게 시간이 한시간, 두시간이 금방 지나가버린다. 그러면서도 기억에 남는 책들이 있다. 바로 재미있는 책이다. 바로 역사학자 이덕일의 책이 그러하다. 읽다보면 나도 모르게 빠져 버린다. 또한 기존의 대세를 이루고 있는 분야를 조금 다른 관점으로 바라보기도 하고 다른 이들에게는 잘 다루어지지 않는 소재들로 이야기를 전개해 나가는 그의 이야기 솜씨는 빠져들지 않을 수 없게 만든다.
그의 책은 일단 나에게는 보증수표다. 일단 작가 이름만으로 85점 이상은 기본으로 가지고 시작한다. 게다가 [이회영과 젊은 그들]은 내가 잘 모르고 있던 일제시대 독립군의 삶에 대해서 이야기하며, 그동안 이름도 알지 못했던 분이셨던 이회영 선생님에 대해서 알게 해주었다. 책의 기쁨 중 하나는 내가 알지 못하는 것에 대해서 아는 것에 대한 기쁨 일 것이다.
그래서 이 책을 읽어내려가면서 한 장면 한 장면 그 시대를 떠올려 보았다.
이 책의 주요 인물인 이회영 선생님은 일가를 모두 데리고 만주로 떠난다. 바로 독립운동을 하기 위해서다. 이 당시 선생은 일제 지배하에서도 기존 가문의 경제력과 오래전 조상들도 정계에서 고위직을 맡으며 승승장구하던 집안이었다. 바로 그 시대의 주류라고 할 수 있다. 하지만 모든 것을 뒤로 하고 오직 나라의 독립을 위해서 일가를 모두 데리고 어마어마한 재산을 모두 가지고 만주로 간다. 그리고 그곳에서 우리나라 독립운동사의 여러 부분에서 활약을 하게 되는 인물들을 배출하고 인연의 끈을 만든 신흥무관학교 세운다.
책 속에는 이회영 외에도 김구, 안창호, 신채호, 윤봉길, 김좌진 등 일제시대의 많은 독립운동가들이 등장한다. 예전에는 단순히 나라를 되찾기 위해 일제에 투쟁한다고 생각했다. 이 말이 맞긴하다. 하지만 독립운동가 사이에도 그들이 생각하는 사상에 따라서 서로 다른 노선으로 가고 때로는 독립운동가 사이에서 갈등이 일어나기도 한다.
공산주의 측면, 외교중심적인 측면, 무정부주의적인 측면 등 여러 방향으로 독립운동가들이 서로의 방향으로 나아갔다. 하지만 의심하지 않는 것은 모두의 염원은 독립이라는 것이다. 같은 동포에 의해 죽은 김좌진 장군, 또 같은 동포에 의해 발고 되어 사형에 처해지는 독립운동가들을 보면서 서로를 이해하지 못하는 것에 대해서 안타까웠고, 아직도 일제의 편에 섰던 이들의 자손들이 그 때의 재산으로 이 나라의 부를 세습하고 있다는 생각에 분통이 터지지 않을 수 없다.
우리나라 역사에서 씻을 수 없는 큰 실수 중, 하나는 독립 후 제대로 된 과거사청산이 없었다는 것이다. 현재 우리나라의 부 역시 이당시 일제의 편에 섰던 이들의 자손들이 상당 부분 차지하고 있다. 지금은 많이 늦었지만, 늦었다고 생각될 수록 하나씩 하나씩 제대로 된 청산은 해야된다고 생각된다.
내가 이 시대에 대한 역사를 너무나 모르고 있었다는 점이 많이 부끄러웠다. 을사조약 이후 독립 전까지의 역사에 대해서 조금 더 공부해봐야 겠다. 과거에 대한 후회, 일제에 대한 분노 보다는 이미 벌어진 사실인 우리의 과거에 대해서 알고, 앞으로 우리의 역사, 나의 삶을 어떤 방향으로 키를 잡아야 할지 배우고 느끼고 몸으로 옮겨야 겠다.
[ 1932년, 이회영이 만주로 떠나기 전에 동지들에게남긴 말 ]
인간으로 세상에 태어나서 누구나 자기가 바라는 목적이 있네. 이 목적을 달성한다면 그보다 더한 행목은 없을 것이네. 그리고 그 목적을 달성하기 위해서 그 자리에서 죽는다 하더라도 이 또한 행복 아닌가. 남의 눈에는 불행일 수도 있겠지만 죽을 곳을 찾는 것은 옛날부터 행복으로 여겨왔네. 같은 운동선상의 동지로서 장래가 만리 같은 귀중한 청년자제들이 죽음을 제 집에 돌아가는 것으로 여겨 두려움 없이 몇 번이고 선을 넘고 사지에 뛰어드는데, 내 나이 이미 60을 넘어 70이 멀지 않았는가. 그런데 이대로 앉아 죽기를 기다린다면 청년동지들에게 부담을 주는 방해물이 될 뿐이니 이것은 내가 가장 부끄러워하는 바요, 동지들에게 면목이 없는 일이네.
2013-011. 동물을 먹는다는 것에 대하여 (0) | 2013.02.15 |
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창세기이야기2 - 길 떠나는 사람들 (0) | 2012.10.11 |
1장 - 반도체 디바이스의 제조공정
<기본 프로세스 기술>
1. 세정기술(Cleaning)
▷ 세정은 리소그래피를 처음으로 하는 각 공정 사이에서 반드시 행해야 하는 것으로, 표면 정화를 위한 공정이다.
또한, 열처리, 산화 등의 공정 전에 행하여지는 것으로, "후처리","전처리"라 불리기도 한다.
세정에 의한 제거 대상물은 유기물 잔사, 산화물 잔사, 금속오염, 파티클 등이다. 초음파, 브러시 등의 물리적 수법도 필요에 따라 추가된다.
2. 열처리 (Thermal Treatment)
▷ 실리콘 기판을 800도 이상의 고온 산화분위기 속에서 처리하면 표면에 실리콘 자체 산화막(SiO2)이 형성된다. 이 막은 절연막으로서, 실리콘을 사용하는 반도체 디바이스 제조의 출발점이다. 실리콘 플레이너 방식의 기본이며, MOS 구조에 있어서는 게이트 절연막이 된다.
이들 산화막의 형성에는 청정한 분위기의 확산로가 쓰여지며, 철저하게 세정을 실시한 웨이퍼가 사용된다.
3. 불순물 도입 (Impurity Doping)
▷ Si 기판 중에 B, As, P 등의 3가 및 5가 족 원소를 불순물로서 도입, pn 접합 형성과 불순물 농도제어를 행해는 기술이다. 열적인 확산법과 이온주입법이 있는데 현재로서는 이온주입법이 주류를 이루고 있다.
이온 주입법에서는 진공 상태에서 분리되어진 B, As, P 등의 이온에 고전압을 가해 가속시킴으로써 기판 안에 주입한다. 불순물의 양은 이온전류에 의해 모니터 되고, 열처리에 의해 활성화된다.
4. 박막 형성(Thin Film Deposition)
▷ 기판상에 절연막, 실리콘막, 금속막을 형성(퇴적)시키는 막으로 CVD(Chemicl Vapor Deposition), PVD(Physical Vapor Deposition) 이 있다.
5. 리소그래피 기술(Lithography)
▷ 리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해, 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트제거에 이르는 일련의 프로세스이다. 현재, 패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전사시킴으로써 행해지고 있다. 이 공정은 모든 프로세스 기술의 중심이며, 반도체 공장에서도, 가장 많은 금액의 투자를 필요로 하는 장치이다. 패턴 형성 후에는 반드시 에칭 공정이 수반되며, 형성된 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 처리할 수 있다.
6. 평탄화 기술(Planarization)
▷ 디바이스의 미세화와 고밀도화가 진행되면서 표면의 구조가 복잡, 심화되어지고, 특히 다층 배선공정에 있어서 단선이나 쇼트의 원인이 되기가 쉽다. 평탄화 기술은 그러한 이유때문에 필요로 하게 된다.
- 출처 : 반도체 제조장치 입문, 성안당
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예전에 대학교를 다닐 때, 한참 그리스 로마 신화에 관심을 가졌던 기억이 난다. 나름 신들 사이의 가계도도 한 번 그렸던 것 같기도 하고, 실제 현재 내가 살아가는 세상 속에서 신화 속의 인물들이 여전히 어떻게 변형되어 살아가고 있는지도 배우고 나름 관심있게 지켜보곤 했다.
그러다가 이윤기 작가의 사망 소식을 아주 뒤늦게 접하고 나서 예전에 빌려다 보기만 했던 그의 책들에 대해서 다시금 생각하게 되었고, 그 중 첫번째로 소장하게된 것이 그리스 로마 신화 이다. 그리스 로마 신화를 이해하기 위해서 가장 먼저 접근해야 할 책이 바로 이윤기 선생님의 이 그리스 로마 신화가 아닐까 생각이 든다.
서양의 대표적인 문화라고 할 수 있는 그리스 로마 신화의 이야기를 동양, 바로 우리나라에서 살아가는 우리들에게 가장 알맞은 문체와 표현 방식으로 이야기를 전개해가고 있는 모습이 너무나 흥미롭다.
이 책은 읽어내려 갈수록 점점 그 이야기 속에 빠져드는 책이다. 너무나도 무궁무진한 이야기인 그리스 로마 신화, 신이라고는 하지만 인간의 여러가지 면의 대표한다고 생각되는 신들의 모습에서 수천년을 이어온 그리스 로마 신화의 힘을 알 수 있다.
그리스 로마 신화에 등장하는 신들은 상업제품인 나이키(승리의 여신 니케에서 유래), 화장품 헤라(여신 헤라) 등에서 유래되었고, 각종 콤플렉스들은 신화에서 이름을 따오고는 한다. 그 밖에도 여러 문학작품에서 그 재료로 신화를 이용하고 있다. 이렇듯 신화를 아는 것은 우리의 이야기 거리를 만들어주는 밑바탕, 근본을 마련해준다. 또한 이 속에서 여러 곁가지로 분야를 넓혀가며 사고의 폭을 확장시킬 수도 있다.
다시 읽어보는 그리스 로마 신화, 예전에 읽었을 때와는 사뭇 다른 기분이다. 재미있고 쉽지만 그 속에 예전에 발견하지 못했던 많은 점들이 눈에 조금씩 들어오는 것 같다.
한 번쯤은 이들 신화속의 등장인물에 대해서 정리해볼 필요는 있을 듯하다.
그리스 로마 신화의 등장인물
2013-006.그리스 로마 신화 2 (0) | 2013.01.22 |
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2013-003.이회영과 젊은 그들 (0) | 2013.01.11 |
제가 살고 싶은 집은 (0) | 2012.10.31 |
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창세기 이야기1 - 생명의 빛 (0) | 2012.09.10 |
2013년 처음에 읽은 책은 장길산8권 이다.
대하소설 장길산 세트를 사놓고 지금 너무나 오래 읽고 있다. 그래서 올해 초반에 나머지 4권을 모두 읽어나갈 생각이다.
한 권 한 권 읽어나가면 내용이 재미가 있는데, 아직까지는 그렇게 크게 임팩트가 오지는 않는다.
이전에 읽었던 대하소설이 태백산맥과 한강이었는데, 내 사사로운 판단으로는 그 때 만큼의 감동은 아직 느끼지 못하고 있다. 그래서 남은 4권이 더 궁금하고, 그 속에서 새로운 감동을 얻기를 기대하고 있다. 하지만 역시 대하소설이고, 역시 황석영이라는 생각은 책을 읽어내려가면서도 감탄을 자아낼 수 밖에 없다.
장길산 8권을 읽어내려가면서 앞 부분은 다소 지루한 감이 있었고, 뒤쪽에는 그래도 나름 재미가 있었다. 아마도 주요 등장인물이 등장하지 않는 초반부에는 흥미를 덜 끌었던 같다. 살주계와 검계에 대한 이야기와 산지니의 죽음에 대한 이야기가 앞 부분을 장식했다. 여기서는 바로 산지니라는 인물이 조금 매력적으로 다가왔다. 그냥 묵묵히 살아가지만, 그 속에서 겪는 어쩔 수 없는 사건들로 인해 벌어지는 일 속에서 이야기가 전개되었다.
그리고 후반부에 다시 주요 등장인물들 바로 구월산의 녹림당들이 등장하면서 다시금 쏠쏠한 재미를 불러일으킨다.
여러 꾀로 유사과의 집을 장악하고 재물을 탈취하는 장면 속에서 그 아이디어에 혼자 웃기도 했다.
8권에서는 이 소설의 등장 시대를 소개하는 구절이 몇 번 나온다. 바로 산지니를 붕당 간의 갈등을 일으키는 데 사용했다는 점이다. 바로 숙종시대 때, 너무나 심했던 붕당정치에 대해서 배경을 설명해준다. 또한, 왕이 장씨 성을 가진 여자에게 마음을 빼앗겼다는 이야기가 등장하는 것으로 보아 바로 그 장씨가 장희빈이고 왕이 숙종이라는 것을 알게 해준다.
대하소설은 워낙 긴 호흡으로 이야기가 진행되다 보니 이렇게 한 권에 대한 글을 쓰기가 싶지가 않다. 하지만 이렇게 짧게나마 글을 남기는 것이 장길산을 읽어나가면서 다시금 그 시대의 우리 바로 서민들은 어떻게 살아가고 있는지 한 번 쯤 살펴볼 수 있지 않을까 기대를 해본다.
2013-007. 장길산10 (0) | 2013.01.31 |
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2013-004. 장길산9 (0) | 2013.01.16 |
안나 카레니나 (4) | 2012.12.20 |
데미안 - 헤르만헤세 (0) | 2012.12.13 |
흑산 (1) | 2012.10.29 |
2013 읽은 책 - Total 96권
▶1월 독서목록 : 7권
1. 장길산 8권 - 황석영/창비 (2013.01.01~2013.01.03)
2. 그리스 로마 신화 1 - 이윤기/웅진지식하우스 (2013.01.04~2013.01.06)
3. 이회영과 젊은 그들 - 이덕일/역사의 아침 (2013.01.07~2013.01.09)
4. 장길산 9권 - 황석영/창비 (2013.01.10~2013.01.15)
5. 남자는 서재에서 딴짓을 한다. - 조우석/중앙M&B (2013.01.16~2013.01.18)
6. 그리스 로마 신화2 - 이윤기/웅진지식하우스 (2013.01.19~2013.01.21)
7. 장길산 10권 - 황석영/창비 (2013.01.22~2013.01.30)
▶2월 독서목록 : 6권
1. 열하일기, 웃음과 역설의 유쾌한 시공간 - 고미숙/그린비 (2013.02.01~2013.02.06)
2. 장길산 11권 - 황석영/창비 (2013.02.07~2013.02.12)
3. 장길산 12권 - 황석영/창비 (2013.02.13~2013.02.14)
4. 동물을 먹는다는 것에 대하여 - 조너선 사프란 포어/민음사 (2013.02.15~2013.02.23)
5. 근대를 말하다 - 이덕일/역사의 아침 (2013.02.24~2013.02.27)
6. 48분 기적의 독서법 (e-book) - 김병완/미다스북스 (2013.02.27~2013.02.28)
▶3월 독서목록 : 11권
1. 읽어야 이긴다 - 신성석/교보문고 (2013.03.01~2013.03.02)
2. 10년후미래 - 대니엘 앨트먼/청림출판 (2013.03.03~2013.03.04)
3. 누가 내 지갑을 조종하는가 - 마틴 린드스트롬/웅진지식하우스 (2013.03.05~2013.03.08)
4. 인생을 바꾸는 시간 18분 - 피터 브레그먼/쌤앤파커스 (2013.03.08~2013.03.10)
5. 아리랑1 - 조정래/해냄 (2013.03.11~2013.03.13)
6. 아리랑2 - 조정래/해냄 (2013.03.14~2013.03.16)
7. 아리랑3 - 조정래/해냄 (2013.03.18~2013.03.19)
8. 아리랑4 - 조정래/해냄 (2013.03.20~2013.03.22)
9. 부자들의 음모 - 로버트기요사키/흐름출판 (2013.03.24~2013.03.26)
10. 돈의 인문학 - 김찬호/문학과 지성사 (2013.03.27~2013.03.29)
11. 아리랑5 - 조정래/해냄 (2013.03.30~2013.03.31)
▶4월 독서목록 : 9권
1. 아리랑6 - 조정래/해냄 (2013.04.01~2013.04.02)
2. 아리랑7 - 조정래/해냄 (2013.04.03~2013.04.05)
3. 최진기의 생존경제 - 최진기/북섬 (2013.04.06~2013.04.07)
4. 아리랑8 - 조정래/해냄 (2013.04.09~2013.04.11)
5. 광고천재 이제석 - 이제석/학고재 (2013.04.12~2013.04.12)
6. 아리랑9 - 조정래/해냄 (2013.04.13~2013.04.14)
7. 아리랑10 - 조정래/해냄 (2013.04.14~2013.04.18)
8. 아리랑11 - 조정래/해냄 (2013.04.26~2013.04.28)
9. 먼지없는 방 - 김성희/보리출판사 (2013.04.26~2013.04.27)
▶5월 독서목록 : 7권
1. 아리랑12 - 조정래/해냄 (2013.04.29~2013.05.01)
2. 사람을 이끄는 힘 - 로버트S.캐플런/교보문고 (2013.05.02~2013.05.05)
3. 사람냄새 - 김수박/보리출판사 (2013.05.01~2013.05.05)
4. 최진기의 뒤죽박죽 경제상식 - 최진기/스마트북스 (2013.05.06~2013.05.10)
5. 나는 왜 일하는가 - 헬렌S. 정/인라잇먼트 (2013.05.11~2013.05.15)
6. 나는 읽는 대로 만들어진다. - 이희석/고즈윈 (2013.05.21~2013.05.22)
7. 간송 전형필 - 이충렬/김영사 (2013.05.23~2013.05.25)
▶6월 독서목록 : 9권
1. 용의자 X의 헌신 - 히가시노 게이고/현대문학 (2013.06.01~2013.06.06)
2. 창조적 책읽기, 다독술이 답이다 - 미쓰오카 세이코/추수밭 (2013.06.03~201306.06)
3. 혜곡 최순우, 한국미의 순례자 - 이충렬/김영사 (2013.06.07~2013.06.12)
4. 허삼관 매혈기 - 위화/푸른숲 (2013.06.14~2013.06.15)
5. 고령화가족 - 천명관/문학동네 (2013.06.16~2013.06.18)
6. 처음처럼 - 신영복/RHK (2013.06.19~2013.06.20)
7. 삶을 닮은 집, 삶을 담은 집 - 김미리,김세기,채민기/더숲 (2013.06.21~2013.06.22)
8. 고구려5 - 김진명/새웅 (2013.06.23~2013.06.24)
9. 처음 만나는 우리 문화 - 이이화/김영사 (2013.06.25~2013.06.28)
▶7월 독서목록 : 6권
1. 나의 삼촌 브루스 리1 - 천명관/예담 (2013.07.01~2013.07.05)
2. 건축, 생활 속에 스며들다 - 조원용/창의체험 (2013.07.05~2013.07.06)
3. 나의 삼촌 브루스 리2 - 천명관/예담 (2013.07.06~2013.07.07)
4. 소설 프랑스혁명 1 - 사토겐이치/한길사 (2013.07.08~2013.07.10)
5. 소설 프랑스혁명 2 - 사토겐이치/한길사 (2013.07.11~2013.07.14)
6. 감옥으로부터의 사색 - 신영복/돌베개 (2013.07.15~2013.07.27)
▶8월 독서목록 : 6권
1. 정글만리 1 - 조정래/해냄 (2013.08.07~2013.08.08)
2. 정글만리 2 - 조정래/해냄 (2013.08.08~2013.08.09)
3. 정글만리 3 - 조정래/해냄 (2013.08.09~2013.08.11)
4. 스무살엔 몰랐던 내한민국 - 이숲/예옥 (2013.08.12~2013.08.20)
5. 아프리카에는 아프리카가 없다 - 윤상욱/시공사 (2013.08.21~2013.08.26)
6. 타블로이드 전쟁 - 폴 콜린스/양철북 (2013.08.26~2013.08.29)
▶9월 독서목록 : 7권
1. 열하일기 上 - 고미숙/그린비 (2013.09.01~2013.09.04)
2. 색체가 없는 다자키 쓰쿠루와 그가 순례를 떠난 해
- 무라카미 하루키/민음사 (2013.09.05~2013.09.06)
3. 변신 - 프란츠 카프카/민음사 (2013.09.07~2013.09.09)
4. 공부하는 인간 KBS 공부하는 인간 제작팀/위스덤하우스 (2013.09.09~2013.09.10)
5. 월경독서 - 목수정/생각정원 (2013.09.16~2013.09.18)
6. 28년 - 정유정/은행나무 (2013.09.23~2013.09.26)
7. 어느 아나키스트의 고백 - 안토니오 알타리바, 킴/길찾기 (2013.09.26~2013.09.27)
▶ 10월 독서목록 : 7권
1. 나는 이렇게 될 것이다. - 구본형/김영사 (2013.10.10~2013.10.11)
2. 참을 수 없는 존재의 가벼움 - 밀란 쿤데라/민음사 (2013.10.12~2013.10.14)
3.. 조선의 왕을 말하다 - 이덕일/역사의 아침 (2013.10.15~2013.10.16)
4. 나는 빠리의 택시 운전사 - 홍세화/창비 (2013.10.17~2013.10.22)
5. 제7일 - 위화/푸른숲 (2013.10.23~2013.10.24)
6. 황금물고기 - 르 클레지오/문학동네 (2013.10.25~2013.10.30)
7. 박시백의 조선왕조실록 01 - 박시백/휴머니스트 (2013.10.31~2013.10.31)
▶ 11월 독서목록 : 12권
1. 박시백의 조선왕조실록 02 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.01~2013.11.01)
2. 박시백의 조선왕조실록 03 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.03~2013.11.04)
3. 박시백의 조선왕조실록 04 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.05~2013.11.06)
4. 박시백의 조선왕조실록 05 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.07~2013.11.07)
5. 철학이 필요한 시간 - 강신주/사계절 (2013.11.07~2013.11.09)
6. 박시백의 조선왕조실록 06 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.12~2013.11.12)
7. 박시백의 조선왕조실록 07 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.13~2013.11.13)
8. 박시백의 조선왕조실록 08 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.16~2013.11.17)
9. 인문학 공부법 - 안상헌/북포스 (2013.11.17~2013.11.18)
10. 박시백의 조선왕조실록 09 - 박시백/휴머니스트 (2013.11.19~2013.11.20)
11. 낯익은 타인들의 도시 - 최인호/여백 (2013.11.21~2013.11.22)
12. 이것이 인간인가 - 프리모 레비/돌베개 (2013.11.23~2013.11.30)
▶ 12월 독서목록 : 9권
1. 지금 시작하는 인문학 - 주현성/더좋은책 (2013.12.01~2013.12.05)
2. 살인자의 기억법 - 김영하/문학동네 (2013.12.06~2013.12.07)
3. 네루다의 우편배달부 - 안토니오 스카르메타/민음사 (2013.12.08~2013.12.09)
4. 나는 무엇을 위해 살아왔는가 - 버드런드 러셀/문예출판사 (2013.12.10~2013.12.12)
5. 오래된 연장통 - 전중환/사이언스북스 (2013.12.12~2013.12.14)
6. 인간의 조건1 - 고미카와 준페이/잇북 (2013.12.17~2013.12.22)
7. 인간의 조건2 - 고미카와 준페이/잇북 (2013.12.24~2013.12.27)
8. 밥상머리의 작은 기적 - SBS스페셜제작팀/리더스북 (2013.12.27~2013.12.29)
9. 강신주의 다상담1 - 강신주/동녘 (2013.12.29~2013.12.30)
나를 선택한 2014년의 책 (0) | 2014.01.07 |
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독서로드맵 - (경제) (0) | 2012.11.28 |
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글쓰기훈련소 추천/필독서 (0) | 2012.09.11 |
0장. 반도체 제조장치의 세계
◇ 반도체 디바이스의 지금까지의 진보는 반도체 제품을 생산하기 위한 제조기술 및 가공기술의 진보로서, 그것을 양산기술로 가능하게 하는 "제조장치의 진보"에 의해 달성되어 왔다고 해도 과언이 아니다.
◇ 반도체 디바이스 제조공정은 단결정 제조공정, 마스크 제조공정, 전공정, 후공정으로 분리되어진다. 단결정과 마스크 제조공정은 각각 전문 메이커의 영역이므로, 일반적으로 반도체 제조장치라 하면 전공정, 후공정, 공통 장치 등으로 분류한다. 전공정은, 실리콘 기판을 가공처리하는, 즉 웨이퍼 프로세스(Wafer Process)라고 불리는 공정이며, 후공정은 웨이퍼 프로세스 종료 후에 칩을 패키지화 하여 검사하는 공정이다. 최근에는 이 공정을 또 다시 전반과 후반으로 구분하여, 기판가공 프로세스와 배선공정으로 구분하기도 한다.
◇ LSI라고 불리어지는 집적회로 디바이스가 등장한 것은 1970년으로서, 그 최초의 제품이 미국 인텔사의 i-1103이라 불리어지는 1K비트의 MOS 메모리였다. 이것은 현재의 고밀도DRAM의 출발점이 된 디바이스인데, 반도체 제조장치 분야가 산업으로서 성립된 것도 이 시점이라 할 수 있다.
◇ 1970년, LSI(대규모 집적회로)의 등장과 함께 반도체 제조장치 산업이 탄생되었다. 그때까지는 장치산업이라 해도, 메이커의 수는 적고, 산업 단체로서의 조직적인 활동도 없었던 상태였다.
각 디바이스 메이커는 장치 메이커와 개별로 특별 사양의 장치를 조달하거나 또는 어쩔 수 없이 장치의 자체 제작을 진행하고 있었다. 반도체 제조장치 산업의 탄생은 기술의 다양화와 제조기술 고도화의 교구가 초래한 필연이었다고 말할 수 있다. 즉, 전문 장치 메이커가 완성도 높은 장치를 사용자에게 제공하지 않으면 안되었기 때문이다. 또한 디바이스 메이커는 장치를 내제화하기보다는 그 자원을 본래의 반도체 생산과 기술 발전 쪽으로 돌리는 것이 가능하게 되었다.
◇ 리소그래피, 박막형성, 세정 등은 기본 프로세스 또는 요소 기술이라고도 불리어져, 장치 또한 이것에 따라서 분류되는 것이 보통이다. 전공정에서는 리소그래피, 에칭, 박막형성이 차지하는 비율이 80%에 이르고 있다.
◇ 전공정 관련의 반도체 제조장치가 설비투자 전 금액의 50% 이상을 차지하고 있기 때문에 반도체 제조 장치라고 하면 전처리 장치를 가리킨다 해도 좋을 정도이다.
◇ 웨이퍼 프로세스에서는 산화, 세정, 리소그래피 등의 공정이 몇 십 회씩 반복되어 집적회로로 만들어져 나간다. 공정수도 세는 방식에 따라서는 수백 회에 이르고, 한 공정에 하루가 걸린다고 할 경우 몇 개월에 걸쳐 간신히 완료되는 긴 공정이다. 그것만으로 디바이스 제조원가에서 차지하는 이 공정의 비중이 높고, 제조장치의 감가상각비가 그 30%를 넘는다고도 한다. 따라서 공정을 줄이고, 도입하는 설비의 대수를 줄이는 일은 원가 절감에 현저한 효과를 초래한다. 예를 들면, 가장 효과적인 마스크 매수를 줄이는 것이다. 마스크의 사용매수가 줄어들면 공정은 단번에 단축되어 스태퍼(Stepper)의 도입 대수를 줄일 수 있기 때문이다. 현재와 같은 디바이스를 생산하는 경우, 칩의 제조원가를 비교하려면 마스크의 매수를 비교하면 알 수 있다고 할 정도이다.
◇ 현재로는 웨이퍼 프로세스를 대표하는 장치는 스테퍼이고 그 도입대수에 따라서 그 라인의 능력, 제조원가 등을 알 수 있다고 한다.
◇ 반도체 산업의 주변 산업으로는 재료관련 메이커, 설비관련 메이커, 포토마스크 메이커, 결정 메이커가 있다.
- 반도체 제조장치 입문 (임종성 저), 성안당 -
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